플라즈마 표면처리기기란 무엇인가요?

플라즈마 표면처리기기란? 플라즈마 표면 처리 장비는 가스에 충분한 에너지를 가하여 플라즈마 상태로 이온화하고 이러한 활성 구성 요소의 특성을 사용하여 샘플 표면을 처리하여 세척, 수정, 포토레지스트 애싱 등을 수행합니다.

플라즈마 표면처리기의 작동원리: 먼저 플라즈마가 무엇인지부터 알아보겠습니다. 플라즈마라고도 불리는 플라즈마는 원자의 이온화로 인해 생성된 전자와 양전자 및 음전자의 일부를 빼앗긴 원자로 구성된 이온화된 가스와 같은 물질입니다. 우주에 널리 존재하며 종종 제거로 간주됩니다. 고체와 액체, 공기 밖의 물질 존재의 네 번째 상태. 플라즈마는 좋은 전기 전도체이며 교묘하게 설계된 자기장을 사용하여 플라즈마를 포착, 이동 및 가속할 수 있습니다. 플라즈마 물리학의 발전은 재료, 에너지, 정보, 환경 공간, 우주 물리학, 지구물리학 및 기타 과학의 추가 개발을 위한 새로운 기술과 프로세스를 제공합니다.

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