세계에서 가장 발전된 리소그래피 기계를 보유한 국가는 어디인가요?

중국, 일본, 네덜란드.

기계를 제작할 수 있는 기업 중에는 네덜란드(ASML)가 기술적으로 가장 앞서 있다. 가격도 가장 비쌉니다. 리소그래피 기계의 기술적 한계는 매우 높으며 인간의 지혜의 산물이라고 할 수 있습니다.

현재 45나노미터 미만의 전 세계 고급 노광기 시장에서 네덜란드 ASML의 시장 점유율은 80% 이상에 달하며, ASML은 현재 세계 유일의 노광기 공급업체이다. 7나노미터 정밀도에 도달할 수 있는 세상, 그래서 ASML은 글로벌 칩 산업의 진정한 슈퍼군주라고 해도 과언이 아닙니다.

주요 성능 지표

리소그래피 기계의 주요 성능 지표는 지원되는 기판 크기 범위, 해상도, 정렬 정확도, 노광 방법, 광원 파장, 광도 균일성, 생산 효율성입니다. , 등.

해상도는 포토리소그래피 처리를 통해 달성할 수 있는 최고의 선 정확도를 설명하는 방법입니다. 포토리소그래피의 해상도는 광원의 회절에 의해 제한되므로 광원, 포토리소그래피 시스템, 포토레지스트 및 프로세스에 의해 제한됩니다.

정렬 정확도는 다층 노광 중 층간 패턴의 위치 지정 정확도입니다.

노출 방식은 접촉근접, 투영, 직접쓰기로 나누어진다.

노광 광원의 파장은 자외선, 심자외선, 극자외선 영역으로 구분된다. 광원으로는 수은램프, 엑시머 레이저 등이 있다.