포토리소그래피 기계란 무엇을 의미하나요? 포토리소그래피 기계의 역할은 무엇인가요?

1. 마스크 정렬 노광기, 노광 시스템, 리소그래피 시스템 등으로도 알려진 마스크 ​​정렬 장치는 칩 제조의 핵심 장비입니다. 포토 프린팅과 유사한 기술을 사용하여 빛에 노출시켜 마스크의 미세한 패턴을 실리콘 웨이퍼에 인쇄합니다.

2. 집적 회로 생산을 위한 간단한 단계: 템플릿을 사용하여 웨이퍼 표면의 보호 필름을 제거합니다. 웨이퍼를 부식제에 담그고 보호 필름이 벗겨진 부분을 에칭하여 회로를 형성합니다. 순수한 물을 사용하여 웨이퍼 표면에 남아 있는 불순물을 제거합니다.