리소그래피 기계 침지 시스템, 국내 모두 하고 있습니다.
1, 장강고과
과학기술혁신판 상장회사 (예: 웨저 창심, 영심, 사이비전자, 클라우드기술, 방의생명기술, UIH 의료 등) 는 푸동 신구 직속 국유지주상장사가 육성하고 부화한 것이다. 동시에, 회사는 국내 하이엔드 광각기 기업인 상하이 마이크로전자 10.779% 지분을 보유하고 있다.
2. 거대한 빛 기술
중국에서 가장 강력한 고전력 반도체 레이저 브랜드로 반도체 레이저와 레이저 광학 업무에 주력하고 있습니다. 회사의 라이트 필드 균질기는 성능이 우수하여 국내 R&D 중대 프로젝트와 리소그래피 원형에 사용되었으며 아스메르와 타이완 반도체 매뉴팩처링 공급망에 진입했습니다.
3. 부창정밀
중국 반도체 장비 정밀 부품 선도 기업은 주로 공예 부품, 구조 부품, 모듈 제품, 가스관을 운영하고 있으며, 전 세계 몇 안 되는 7 nm 공예 부품을 양산할 수 있는 업체입니다. 해외 헤드 제조업체의 공급망에 진출해 회사의 강력한 제품과 기술 역량을 입증했다.
상하이 마이크로 일렉트로닉스 장비 회사
유한 리소그래피 기계는 주로 집적 회로 프런트 엔드 회로, 고급 패키징, FPD, MEMS, LED, 전력 부품 등의 제조 분야에 사용됩니다. 20 18 년에는 약 60 대가 배송되었습니다. 영업소득이 발표되지 않아 정부 보조금이 많다. 기술적으로 선두에 있는 상하이 마이크로일렉트로닉스 설비유한공사에서 양산 성능이 가장 좋은 리소그래피 기계는 90nm 리소그래피 기계여서 제조 공정에서 차이가 많이 납니다. 국내 웨이퍼 공장에 필요한 고급 리소그래피 기계는 수입에 전적으로 의존하고 있다.
합비 xinshuo 반도체 유한 회사
2006 년 4 월에 설립되어 국내 최초의 반도체 직접 쓰기 광각 설비 제조업체이다. 회사가 자체 개발한 ATD4000 은 최대 200nm 의 양산을 실현했다.
6. 먼저 광전기를 켜다
20 13 년 4 월에 설립되어 200nm 의 최대 양산을 달성했다. 20 14 국제 반도체 장비 및 재료 전시회에서 선텐광전은 완전히 자율적인 지적 재산권을 가진 LED 리소그래피 기계 생산 기술을 선보이며 충격을 받았다.
위 내용 참조: 바이두 백과-합비심석 반도체 유한회사.
위의 내용 참조: Baidu 백과 사전-먼저 광전자 공학