클린룸 먼지 입자 감지

10만 수준 기준: 5μm 입자의 최대 허용치는 29,300이다. 기기 유량은 2.83L, 즉 0.1입방피트입니다. 입방미터를 입방피트로 변환하는 배수는 약 35.2입니다. 일반적으로 계측기에는 단위 선택 기능이 있습니다. 값 뒤에 단위가 없으면 측정된 값이므로 352배로 곱해야 합니다. 단위가 있으면 직접 읽으면 됩니다.

대상 클린룸의 청정도는 100,000이므로 값 20은 실제 측정값이어야 하며, 이는 0.1입방피트에 들어 있는 입자 수를 기준으로 하면 20*입니다. 253=7040 입자/m ?.