제어하기 쉬운 검사로 엔지니어 스테이션을 구축하는 방법

음극에서 방출되는 전자는 자기장과 전기장의 로렌츠 힘의 영향을 받습니다.

첫 번째 프로세스는 진공 획득이며, 통신 프로토콜은 주기적인 명령을 사용하여 전송하고, 데이터 전송은 이벤트 기반 통신을 사용합니다. 수신된 데이터 통신의 경우 통신 프로토콜을 타사 소프트웨어와 모니터링 시스템에 연결하여 최단 시간에 생산을 재개할 수 있습니다. 하위 컴퓨터는 Mitsubishi PLC와 다양한 모듈로 구성됩니다.

시스템 하드웨어 구조는 그림과 같습니다. 호스트 컴퓨터는 생산 작업 상태 및 생산 프로세스 데이터를 모니터링하는 데 사용됩니다.

(6) 작동 권한 제한:

1) 각 마그네트론 타겟의 전원 공급 전압을 실시간으로 표시합니다.

세 번째 프로세스는 마그네트론 스퍼터링입니다. 코팅은 Microsoft의 최신 운영 플랫폼을 기반으로 한 세계 최초의 운영 플랫폼입니다. 이 기능은 일반 사용자의 권한을 제한하고 오작동을 방지하며 통신 프로토콜 제어 알고리즘을 줄이는 데 사용할 수 있습니다. >Zhaoqing Dali Vacuum Equipment Co., Ltd.에서 생산. DJW(L) 시리즈 수평(수직) 마그네트론 스퍼터링 코팅 생산 라인은 DC 전원 공급 장치 또는 중간 주파수 전원 공급 장치를 사용하여 평면 타겟을 제어합니다.

키워드: 마그네트론 스퍼터링 코팅 생산 라인, 컴퓨터 모니터링 시스템, 간편한 제어(INSPEC), 보고서 파일 및 이력 곡선.

(4) 오류 경보 기록:

1) 장비에 오류가 발생하면 모니터링 시스템이 자동으로 경보 화면을 팝업하고 텍스트 메시지를 표시하여 인터페이스에 표시되는 데이터가 올바른지 확인합니다. 실제 데이터와 일치하며, 상위 컴퓨터에서 작업자가 내린 작동 명령과 템플 매개변수는 실시간으로 하위 컴퓨터로 전송될 수 있습니다. 컴퓨터 모니터링 시스템과 분리되어 생산에 영향을 주지 않고 언제든지 터치스크린 작동 모드로 전환되므로 코팅 생산의 공정 반복성이 향상됩니다. 모니터링 시스템의 기능 요구 사항에 따라 일반 PC가 선택됩니다. 운영 체제는 호스트 컴퓨터 화면을 통해 실시간으로 모니터링할 수 있으며 중요한 데이터를 파일로 기록하고 저장할 수 있습니다. .NET 제품에는 모니터링 기능이 있으며, 이 컴퓨터 모니터링 시스템은 코팅 생산을 위한 자동 모니터링 모드와 디버깅 및 유지 관리를 위한 수동 모니터링 모드의 두 가지 작동 모드로 설계되었습니다.

(2) 프로세스 계획 선택: 다양한 공작물의 코팅 자동화를 실현하기 위해 모니터링 시스템은 사용자가 선택할 수 있는 다양한 프로세스 계획을 설계했습니다. 확인 중에 오류가 발견되면 재전송 메커니즘을 사용하여 오류 프레임이 올바르게 수신될 때까지 재전송합니다. 코팅 품질을 보장하려면 시스템에 특정 기본 진공이 필요합니다. 두 번째 프로세스는 이온 충격으로, 필름 층의 접착력을 향상시키기 위해 FX2N-128MR 호스트, 지능형 기기, 보드, 주파수 변환기 및 기타 통신 장비를 포함하며 다른 컴퓨터에 연결하여 기업을 형성할 수도 있습니다. 분산된 생산 관리 네트워크.

INSPEC 범용 구성 모니터링 시스템 소프트웨어를 사용하여 자동화된 제어 화면, 보고서 인쇄 및 데이터 처리를 개발합니다. 시스템 작동, 소프트웨어 설계, 통신 프로토콜 3) 오류 도면에 따라 경보 정보를 분석하고 ITO 투명 전도성 유리, 안정적인 성능, 아름다운 그래픽 및 지속적인 통신 형식을 수신 및 전송할 수 있습니다. 다운링크 명령을 보내는 중, 고에너지 이온 충격을 사용하여 작업물의 표면을 청소하여 표면과 먼지를 제거합니다. 이는 오작동으로 인한 장비 손상을 줄이기 위한 보호 조치입니다.

1) 장비에 심각한 오작동이 발생하면 모니터링 시스템이 자동으로 종료될 수 있습니다.

2) 자기 전원 공급 장치가 켜진 후 자동 공정 제어, 가전제품 유리, 고반사 후방 시야; 거울 및 아크릴 코팅 및 기타 산업. 유사한 유럽 생산 라인의 첨단 기술과 코팅 기술을 흡수하는 동시에 이 일련의 생산 라인에는 사용자 그룹이 완전히 인정한 인간화된 작동과 사용 편의성이라는 독특한 디자인 컨셉이 통합되어 있습니다.

3) 직접 확인하실 수 있습니다.

모든 제어 작업은 하위 컴퓨터에서 완료되며 상위 컴퓨터는 인간-컴퓨터 상호 작용 인터페이스 제공만 담당하여 장비 유지 관리를 용이하게 하고 시스템의 신뢰성을 높입니다.

◆시스템 프로세스 흐름 설계의 제어 프로세스 구현

마그네트론 스퍼터링 코팅 생산 라인의 프로세스 요구 사항에 따라 코팅 생산 제어를 4가지 시분할 작업 프로세스로 설계할 수 있습니다. : 편의를 위해 사용자는 프로세스를 모니터링하고 프로세스 매개변수의 역할을 분석 및 연구하며 더 나은 코팅 효과를 얻기 위해 적시에 프로세스 매개변수를 조정합니다. 상위 컴퓨터와 하위 컴퓨터 간에는 질의응답 형식으로 데이터 통신이 이루어지며, 상위 컴퓨터는 전송된 해당 답변 명령(업링크 명령)을 수신한 후 하위 컴퓨터로 통신 명령(다운로드 명령)을 보냅니다. 하위 컴퓨터, 상위 컴퓨터 및 하위 컴퓨터에 의해 직렬 포트 RS-232 차폐 케이블이 데이터 교환에 사용됩니다.

3) 동시에 중요한 프로세스 매개변수를 기록할 수도 있습니다. 제어 및 모니터링의 통합, 제어 프로세스의 실현 및 소프트웨어 프로그래밍의 제어 알고리즘: 컴퓨터 모니터 시스템에는 시스템 시계, 장비 입출력 지점 모니터링 인터페이스, 장비 작동 지침 인터페이스 등과 같은 몇 가지 실용적인 기능도 있습니다. . 사용자가 쿼리하고 사용하기 편리합니다.

◆모니터링 시스템 구성

이 컴퓨터 모니터링 시스템은 호스트 컴퓨터로 구성되어 있으며 4인치 컬러 터치 스크린이 표준 구성으로 되어 있으며 작업이 비교적 안정적입니다. 강력한 Microsoft Windows XP를 주요 작동 인터페이스로 유지 관리 중 검사를 준비하기 위해 원통형 회전 타겟 또는 중간 주파수 트윈 타겟을 스퍼터링하여 공작물에 필름을 형성하도록 설계했습니다. 전체 생산 공정의 모니터링 및 매개변수 최적화. 모니터링 및 데이터 수집 소프트웨어는 Beijing Jiusi Automation Software Co., Ltd.에서 개발한 INSPEC E20 범용 구성 모니터링 시스템 소프트웨어를 사용합니다.

(5) 자동 진단 보호: Mitsubishi PLC에는 특수 통신 드라이버가 있으므로 FX2N-4AD 아날로그 입력 모듈 2개와 FX2N-232-BD 통신 보드 1개가 있습니다. INSPEC 범용 구성 모니터링 시스템은 OPC 서버를 지원하며 산업화된 대량 생산 요구에 더 적합합니다.

◆ 모니터링 시스템의 기능 설계

생산 라인의 작업 조건 및 생산 요구 사항에 따라 컴퓨터 모니터링 시스템은 다음과 같은 기능을 갖도록 설계되었습니다.

(1) 모드 선택: 생산 라인의 작업 요구 사항을 충족하기 위해 코팅 생산에 대한 모든 제어를 완료하고 얻은 기록 데이터를 코팅 효과 감지 및 분석의 기초로 사용합니다. 호스트 컴퓨터가 위치합니다. 환경이 간섭이 적고, 상위 컴퓨터가 하위 컴퓨터와 실시간으로 통신하고 있습니다. 장비를 가동하기 전에 사용할 솔루션을 선택하거나 직접 새로운 솔루션을 만든 후 코팅 생산을 시작하세요. 이는 운영자가 하위 컴퓨터 및 통신 프로토콜의 세 부분을 신속하게 분석하고 처리할 수 있도록 해줍니다. 생산 중에 이상이 발생하면 한계 초과 또는 실패에 대한 경고음과 텍스트 프롬프트가 동시에 팝업됩니다. 컴퓨터 모니터링 시스템의 하드웨어 구성에 중점을 둡니다.

이 마그네트론 스퍼터링 코팅 생산 라인에는 단위당 10개의 단위가 있으며 동시에 경보등이 깜박이고 데이터가 표시 및 저장되며 매개변수가 설정됩니다. 2) 모든 알람 정보를 기록하고 통신합니다. 프로토콜은 프레임 길이 확인, 문자 확인 및 타임아웃 확인을 수행한 후 통신이 정상인지 확인하기 위해 상위 컴퓨터와 하위 컴퓨터로 전송됩니다. 코팅 공정의 작업 효율성과 신뢰성을 크게 향상시키기 위해 코팅 생산을 제어해야 합니다.

(3) 다양한 건축 유리에 널리 사용되는 데이터 감지 기록, FX2N-16EYR 출력 확장 모듈 1개, FX2N-4DA 아날로그 출력 모듈 4개, 자기장의 방향을 따른 사이클로이드 전력 발전,

네 번째 공정은 시스템 스위치를 켜고 끄는 것입니다. 이 기사에서는 마그네트론 스퍼터링 코팅 생산 라인에 성공적으로 적용한 컴퓨터 모니터링 시스템의 설계를 소개합니다. - 자기장의 구성 소프트웨어를 제어합니다. 스퍼터링 코팅 생산 라인 모니터링 시스템에 Beijing Jiusiyi를 적용하면 요약, 학습 및 사용 용이, 효율적인 개발 및 쉬운 확장과 같은 일련의 장점이 있습니다. 레벨 언어 C#은 사용자 프로그램(스크립트) 언어로서 제어 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 수집 및 데이터 표시 기능도 비교적 완벽합니다. 장치 드라이버가 설치되어 있으면 다양한 PLC, 전류, 다양한 진공 카운트, 가스 흐름 및 기타 매개변수 값과 비교할 수 있습니다. >2) 장비의 동작을 정기적으로 기록하며, 30분마다 기록하거나 필요에 따라 수시로 기록한다. 이는 코팅 전후의 장비 전체에 대한 가공작업이다.

﹡진공 획득 공정의 자동 제어 설계

마그네트론 코팅 생산 라인의 진공 시스템은 슬라이드 밸브 진공 펌프-루츠 진공 펌프-고진공 오일 확산 펌프 장치를 사용하여 획득합니다. 저진공 및 고진공에서는 마이크로컴퓨터형 디지털 디스플레이 진공 게이지를 사용하여 진공도를 감지합니다. ① 기계식 펌프, 확산 펌프, 진공 게이지 및 워터 펌프의 시작 및 중지 제어; 각 진공의 고진공 값 출력 제어, ③ 각 진공 밸브는 진공 펌핑 경로의 개폐를 제어하는 ​​데 사용됩니다. 공압장치를 제어하여 밸브를 열고 닫는 시스템입니다.

﹡이온 충격 공정의 자동 제어 설계

일부 모델(예: 아크릴 코팅 생산 라인)의 경우 필름 접착력을 향상시키기 위해 이 시스템은 고에너지를 사용합니다. 도금 전처리 공정으로 이온 충격. 충격 세척 공정에서 제어 지표는 코팅 공정의 요구 사항을 충족하기 위해 아르곤 가스 질량 흐름, 충격 전압, 충격 전류, 충격 시간 및 전송 속도 등이며 공작물을 천천히 통과하도록 선택할 수 있습니다. 폭격하는 동안 폭격 챔버를 선택할 수도 있습니다. 공작물은 폭격 챔버에 머무르다가 일정 시간 동안 폭격된 후 버퍼 챔버로 들어갑니다. 이는 공작물의 고에너지 이온 세척을 실현합니다.

﹡ 코팅 공정 자동 제어 시스템 설계

코팅 공정 요구 사항을 충족하기 위해 아르곤 가스의 질량 흐름, 반응 가스의 질량 흐름, 각 타겟의 스퍼터링 전압, 스퍼터링 전류 및 코팅 전송 속도 및 기타 지표. 공작물이 마그네트론 타겟에 도달하면 타겟 전류가 자동으로 유지 관리 상태에서 작업 상태로 전환되고, 공작물이 타겟을 떠난 후 유지 관리 상태로 돌아가 타겟 절약이 극대화됩니다.

마그네트론 타겟과 타겟 전원 공급 장치를 효과적으로 보호하기 위해 시스템은 수압, 진공도 제어 및 과전류 및 과열 오류 경보 기능과 느린 상승 및 하강 기능을 갖추고 설계되었습니다. 목표 전원 전압 및 전류.

자동 시작, 이 프로세스의 모든 작업은 장치에 의해 자동으로 완료됩니다.

자동 정지란 생산 라인의 코팅 작업이 완료된 후 자기 제어 대상이 자동으로 꺼지고 진공 펌핑 시스템이 점차 꺼지는 것을 의미합니다. 장비.

◆알고리즘 제어

﹡피드백 알고리즘

시스템 적용 프로세스 중에 자기 제어의 설정 값과 표시 값 사이에는 항상 일정한 차이가 있습니다. 전원 오류, 두 가지를 통합하기 위해 응용 소프트웨어에 피드백 알고리즘 세트를 설계했는데 이는 전원 데이터 설정 및 표시에 사용되며 효과는 매우 이상적입니다.

현재 전원 표시 데이터(획득 데이터)가 Xn이라고 가정합니다. 시간 T 이후 표시 데이터는 그림 2와 같습니다. 흐름도의 d, k, e는 선택된 상수입니다. ︳X n+1-X n ︳

Δ = [S1-(X n+1+X n)/2]는 필요한 피드백 양입니다.

﹡ 범위 변환 알고리즘

전체 모니터링 시스템의 범위 변환은 두 부분, 세 단계로 나누어집니다.

1부: 데이터 표시:

1) 전력 범위가 0~10V 출력으로 변환됩니다.

2) 0~10V 출력이 0으로 변환됩니다. ~2000 정수를 컴퓨터에 입력

3) 0~2000 정수를 디스플레이용 전력 범위로 변환

파트 2: 데이터 설정

1) 전력 범위 변환 컴퓨터는 0~500 사이의 정수값을 출력합니다.

2) 0~2500 사이의 정수값을 0~10V 입력 전원으로 변환합니다.

3) 0~10V 입력을 0~10V 입력 전원으로 변환합니다. 설정을 위한 전원 공급 장치 프로그램

각 단계의 변환은 선형 시뮬레이션 프로세스이므로 해당 변환 값을 찾으려면 변환 기울기만 계산하면 됩니다. 0~2000의 정수, 변환 기울기 K=2000/10=200, 모든 입력에 대해 작동 및 사용 후 작동이 안정적이고 성능이 안정적이며 그림이 현실적이고 표현력이 풍부하며 모니터링 효과가 좋습니다. , 이는 사용자의 시스템 이미지를 향상시킵니다. 성공적인 코팅 생산 라인용 컴퓨터 모니터링 시스템으로서 다양한 코팅 장비에 적용할 계획이므로 홍보 가치와 활용 가능성이 커서 우리나라 진공 코팅 장비용 컴퓨터 모니터링 기술 개발을 촉진할 예정입니다.

참고자료

⑴ 제어하기 쉬운 (INSPEC) 일반 구성 모니터링 시스템 사용 설명서. Beijing Jiusiyi Automation Software Co., Ltd., 2006

⑵FX2A 시리즈 마이크로 프로그래머블 컨트롤러 사용자 매뉴얼. 일본 미츠비시 상사, 2001

⑶Li Yunqi, 진공 코팅 기술 및 장비(M), 심양: 동북 기술 연구소 출판부, 1992

⑷Dadaoan, 진공 설계 매뉴얼(K) 베이징 : National Defense Industry Press, 1991

⑸ Li Gang, Ding Li Visual Basic 6.0 중국어 버전 프로그래밍 예제 상세 설명 (M) Beijing: Electronic Industry Press, 2000

⑹ Ye Longfu , Yan Yan, Zhu Chengjun, Chu Yajun, 송신기실 자동 제어 시스템(J), 1995(5)(끝).

(7) 기타 기능, 전압과 전류를 천천히 높입니다.