왜 타겟이 음극인가요?

이것은 타겟의 음극이 캐비티의 양극을 기준으로 하기 때문입니다. 스퍼터링 과정에서 타겟 위의 원자는 양전하를 띤 헬륨 이온과 충돌하게 되고, 헬륨 이온에 의해 운반된 양전하는 음극(즉, 기존의 음극)으로 날아가야 하므로 타겟을 음극이라고 합니다. 진공 환경에서 PS 헬륨 원자는 아크(1차 또는 2차)에 의해 여기되고 전자를 잃어 양이온을 형성하며 스퍼터링 중에 음극으로 흐르는 연속적인 "전류"가 됩니다.

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