포토레지스트와 포토리소그래피 기계의 차이점은 무엇인가요?

기능의 차이, 제조 공정의 차이 등

1. 기능 차이 : 포토레지스트는 광개시제, 포토레지스트 수지, 모노머, 용매 및 기타 첨가제로 구성된 감광성 혼합 액체입니다. 포토리소그래피 기계는 칩을 제조하는 핵심 장비 중 하나이다. 그 기능은 광학 시스템을 통해 웨이퍼 표면에 빛을 투사하여 특정 패턴을 형성하는 것입니다.

2. 제조 공정의 차이: 포토레지스트 제조 공정은 웨이퍼 표면에 포토레지스트를 바르고 빛을 비추면 되기 때문에 비교적 간단하다. 포토리소그래피 기계의 제조 공정은 더욱 복잡합니다. 리소그래피 기계는 고정밀 리소그래피 프로세스를 달성하기 위해 함께 작동할 수 있도록 광학 시스템, 기계 구조 및 제어 시스템과 같은 여러 구성 요소의 설계 및 제조가 필요합니다.