포토리소그래피 기계는 칩 제조의 핵심입니다. 현재 중국에서 포토리소그래피 기계를 개발할 수 있는 회사는 어디입니까?
리소그래피 기계는 칩 제조의 핵심 장비입니다. 우리나라에서 연구 개발에 투자한 회사로는 Microelectronics Equipment (Group) Co., Ltd., Changchun Institute of Optics and Mechanics, Chinese Academy of Sciences 등이 있습니다. 등은 모두 연구 개발에 종사하고 있습니다. Xianteng Optoelectronics Technology Co., Ltd., Xianteng Optoelectronics Technology Co., Ltd. 및 Hefei Xinshuo Semiconductor Co., Ltd.는 모두 R&D와 조작. 그리고 특정 과학적 연구 결과가 있었지만 현재 우리나라의 고급 칩 제조는 주로 네덜란드에서 수입한 사진 평판 기계에 의존하고 있습니다. 우리나라의 노광기계는 꾸준히 발전하고 있지만 국제 3대 거대 기업인 Nikon, Canon(중급~고급형 노광기 시장은 기본적으로 하락세), ASML(중~고급형)과 큰 격차가 있습니다. 최종 시장은 거의 독점입니다.)
리소그래피 기계는 칩 제조에 사용되는 핵심 장비 중 하나로, 용도에 따라 여러 종류로 나눌 수 있다. 현장에서 LED 제조에 사용되는 프로젝션 리소그래피 기계입니다. 칩을 생산하는 데 사용되는 리소그래피 기계는 중국의 반도체 장비 제조에 있어서 가장 큰 단점입니다. 국내 공장에서 요구하는 고급 리소그래피 기계는 전적으로 수입에 의존하고 있습니다. 리소그래피 기계는 집적 회로 산업의 보석으로 업계에서 환영받고 있습니다. R&D의 기술적, 재정적 기준은 매우 높습니다. 최고급 14나노 노광기를 생산할 수 있는 제조사가 거의 없는 것도 바로 이 때문이다. 현재 일본의 캐논과 니콘만이 6세대의 연구개발을 기본적으로 포기한 상황이다. 세대 EUV 리소그래피 기계. 이에 비해 국내 노광기계 제조사들은 매우 초라해 보인다.
Shanghai Microelectronics Equipment (Group) Co., Ltd.의 리소그래피 기계는 주로 집적 회로 프런트 엔드, 고급 패키징, FPD, MEMS, LED 및 전력 장치와 같은 제조 분야에 사용됩니다. 2018년 출하량은 50-60개 사이입니다. 영업이익은 공개되지 않았으며, 정부는 상당한 보조금을 지급했다. 기술 선두주자인 상하이마이크로일렉트로닉스설비(Shanghai Microelectronics Equipment Co., Ltd.)의 양산형 포토리소그래피 장비 중 가장 성능이 좋은 것은 90nm 포토리소그래피 장비로, 국내 웨이퍼가 요구하는 하이엔드 포토리소그래피 장비의 격차가 크다. 공장은 전적으로 수입에 의존하고 있습니다.
2016년 11월 15일, 장춘광학기계연구원이 주도하는 국가과학기술대과제 02 극자외선 리소그래피 핵심기술연구가 사전검수 현장시험을 성공적으로 마쳤다. . 창춘 광학 기계 연구소, 청두 광전자 공학 연구소, 상하이 광학 기계 연구소, 중국 과학 아카데미 마이크로 전자 연구소, 베이징 기술 연구소, 화중 과학 기술 대학교 하얼빈 기술 연구소의 공동 노력으로 및 기타 참여 연구 단위들은 8년간의 노력 끝에 예정된 연구 내용과 핵심 연구 과제를 성공적으로 완료했으며 현 단계에서 우리나라 극자외선 리소그래피 개발을 제한하는 핵심 광학 기술을 돌파하고 초기 공정을 확립했습니다. 극자외선 리소그래피 노광 광학 시스템 개발에 적합한 검출, 코팅 및 시스템 통합 플랫폼은 우리나라 리소그래피 기술의 지속 가능한 발전을 위한 견고한 기반을 마련했습니다.
허페이신숴반도체유한회사는 2006년 4월에 설립된 국내 최초의 반도체 직접 기록 노광 장비 제조업체이다. 자체 개발한 ATD4000은 최대 200nm까지 양산을 달성했다.
Wuxi Yingsu는 2015년 1월에 설립되었습니다. Yingsu Company는 중국과학원 마이크로전자공학연구소와 업계 수석 기술팀, 업계 최고 기술팀이 공동으로 설립한 마이크로 전자 장비 첨단 기술 전문 기업입니다. 자금. 잉수컴퍼니는 세계 최초 듀얼 테이블 고속 레이저 다이렉트 이미징 장비(LDI)인 반도체 분야 레이저 다이렉트 라이팅/제판 리소그래피 장비 개발에 성공해 최대 200nm 양산을 달성했다. Wuxi Yingsu는 2015년 1월에 설립되었습니다. Yingsu Company는 중국과학원 마이크로전자공학 연구소, 업계 수석 기술팀, 업계 자금이 공동으로 설립한 전문 마이크로전자 장비 하이테크 기업입니다. 잉수컴퍼니는 세계 최초 듀얼 테이블 고속 레이저 다이렉트 이미징 장비(LDI)인 반도체 분야 레이저 다이렉트 라이팅/제판 리소그래피 장비 개발에 성공해 최대 200nm 양산을 달성했다.
Xanteng Optoelectronics는 2013년 4월 설립되어 최대 200nm의 양산을 달성했습니다. 2014년 국제 반도체 장비 및 재료 전시회에서 Xanteng Optoelectronics는 완전히 독립적인 지적 재산권을 갖춘 LED 리소그래피 기계 생산 기술을 선보였습니다. 모든 사람.