사진 평판 기계와 에칭 기계의 차이점

에칭은 포토리소그래피보다 쉽습니다. 포토리소그래피 기계는 패턴을 인쇄한 후, 에칭 기계는 인쇄된 패턴에 따라 패턴이 있는(또는 패턴이 없는) 부분을 에칭하여 제거하고 나머지 부분은 남깁니다.

'포토리소그래피'란 포토레지스트가 덮인 웨이퍼(또는 실리콘 웨이퍼)를 미리 만들어진 포토레지스트로 덮은 뒤, 자외선을 이용해 일정 시간 조사한 후 포토레지스트를 통해 웨이퍼를 리소그래피하는 것을 말한다. . 자외선을 이용해 포토레지스트의 일부를 변질시켜 부식되기 쉽게 만드는 것이 원리다.

'에칭'이란 포토리소그래피 후 포토레지스트(포지티브 레지스트)의 열화된 부분을 식각액을 사용하여 에칭하는 것을 말하며, 반도체 소자의 패턴과 그 연결부가 웨이퍼 표면에 나타나게 됩니다 . 그런 다음 또 다른 에칭액을 사용하여 웨이퍼를 에칭하여 반도체 장치와 그 회로를 형성합니다.

추가 정보:

리소그래피 기계는 일반적으로 작동 용이성에 따라 수동, 반자동, 완전 자동의 세 가지 유형으로 구분됩니다.

1. 수동: 수동 손잡이를 사용하여 X축, Y축 및 치타 각도를 변경하여 정렬을 완료하는 정렬 조정 방법을 말합니다.

2. 반자동: 전기 축을 통해 CCD에 따라 정렬을 배치하고 조정할 수 있음을 의미합니다.

3. 자동: 기판에서 업로드 및 다운로드를 의미합니다. 노출 시간과 주기는 주로 공장의 처리 용량 요구를 충족시키기 위해 자동 리소그래피 기계인 프로그램에 의해 제어됩니다.

참고 자료: 바이두 백과사전-리소그래피 기계, 바이두 백과사전-에칭