MEMS 자이로스코프 기술이란 무엇인가요?

MEMS 자이로스코프는 실리콘 마이크로전자기계 자이로스코프입니다. 대부분의 MEMS 자이로스코프는 상호 직교 진동과 회전으로 인해 발생하는 교번 코리올리 힘에 의존합니다. MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)는 기계 요소, 마이크로 센서, 마이크로 액츄에이터, 신호 처리 및 제어 회로, 인터페이스 회로, 통신 및 전원 공급 장치를 통합하는 완전한 마이크로 전자 기계 시스템을 의미합니다.

mems 자이로스코프의 특징:

MEMS 자이로스코프는 코리올리 정리를 사용하여 회전하는 물체의 각속도를 각속도에 비례하는 DC 전압 신호로 변환합니다. 핵심 구성 요소는 도핑되어 있습니다. 기술, 포토리소그래피 기술, 에칭 기술, LIGA 기술, 패키징 기술 등을 대량 생산하고 있습니다. 주요 특징은 1. 측면 길이가 1mm 미만이며, 장치 코어의 무게가 가볍습니다. 1.2mg. 2. 저렴한 비용 3. 우수한 신뢰성, 100,000시간 이상의 작업 수명, 1000g의 충격을 견딜 수 있습니다. 4. 넓은 측정 범위