사진 평판 기계는 어떤 용도로 사용되나요?

포토리소그래피 기계는 빛을 이용해 조각하는 기계로, 포토레지스트의 광침식 목적을 달성하기 위해 사용된다. 따라서 포토리소그래피 기계는 렌즈를 통해 큰 회로도를 칩 크기로 축소한 후 빛을 이용해 포토레지스트를 침식시켜 자동으로 회로를 형성하는 목적을 달성한다.

리소그래피 기계는 매우 복잡한 기계입니다. 현재 가장 강력한 리소그래피 기계 제조업체는 네덜란드의 ASML입니다. 그들은 이제 5nm 라인을 조각할 수 있는 리소그래피 기계를 생산할 수 있습니다.

노광기의 분류

노광기는 일반적으로 조작의 용이성에 따라 수동식, 반자동식, 완전자동식의 세 가지 유형으로 구분됩니다.

수동: 수동 손잡이를 통해 X축, Y축 및 치타 각도를 변경하여 정렬을 완료하는 정렬 조정 방법을 말합니다.

반자동: 전기 축을 통해 CCD에 따라 정렬 위치를 지정하고 조정할 수 있다는 사실을 의미합니다.

자동: 기판에서 업로드 및 다운로드하는 것을 의미합니다. 노출 시간과 주기는 주로 공장의 처리량 요구를 충족합니다.