마스크 조준기는 무엇을 하고 있으며, 어떻게 작동합니까?

리소그래피 기계는 칩 제조의 핵심 장비 중 하나이며 용도에 따라 여러 가지 유형으로 나눌 수 있습니다. 칩을 생산하는 리소그래피 기계가 있습니다. 포장용 마스크 조준기; LED 제조 분야에 사용되는 투영 마스크 정렬기도 있습니다.

칩 생산에 사용되는 리소그래피 기계는 중국 반도체 장비로 만든 가장 큰 단판입니다. 국내 웨이퍼 공장에 필요한 고급 리소그래피 기계는 수입에 전적으로 의존하고 있다. 샤먼 기업이 이번에 네덜란드에서 수입한 리소그래피 기계는 칩 생산을 위한 설비이다.

둘째, 작동 원리

리소그래피 기계는 칩을 가공하는 과정에서 일련의 광원 에너지 및 모양 제어 수단을 통해 빔이 회로도가 있는 마스크를 통해 다양한 광학 오류를 보정하고 회로 다이어그램을 비례적으로 줄여 실리콘 조각에 매핑한 다음 화학적 방법으로 현상하여 실리콘 조각에 새겨진 회로 다이어그램을 얻습니다.

일반적인 리소그래피 공정은 실리콘 표면 세정 건조, 하단 코팅, 회전 코팅 리소그래피, 소프트 구이, 정렬 노출, 후구이, 현상, 하드구이, 레이저 에칭 등의 과정을 거쳐야 한다. 한 번 리소그래피된 칩은 계속 접착제 노출을 할 수 있다. 칩이 복잡할수록 구조도 레벨이 많을수록 필요한 노출 제어 프로세스가 더 정확해집니다.

확장 데이터

마스크 정렬기의 구조:

1, 측정대, 노출대: 실리콘을 운반하는 워크벤치입니다.

레이저: 라이트, 리소그래피 기계의 핵심 장비 중 하나입니다.

3. 빔 보정기: 빔 입사 방향을 보정하여 레이저 빔이 가능한 한 평행이 되도록 합니다.

4. 에너지 컨트롤러: 실리콘에 최종적으로 비추는 에너지를 제어합니다. 노출이 부족하거나 과도하게 노출되면 이미징 품질에 심각한 영향을 줄 수 있습니다.

5. 빔 모양 설정: 빔을 원, 링 등 다양한 모양으로 설정하고 빔 상태에 따라 광학 특성이 다릅니다.

6. 셰이더: 노출이 필요하지 않을 때 빔이 실리콘에 비치는 것을 방지합니다.

7. 에너지 탐지기: 빔 최종 입사 에너지가 노출 요구 사항을 충족하는지 여부를 감지하고 조정을 위해 에너지 제어기에 피드백을 제공합니다.

8. 마스크 팩: 회로 디자인이 새겨진 유리판 한 장, 가격이 수십만 원.

9. 마스크대: 마스크 모션을 호스팅하는 장비로, 모션 제어 정밀도는 nm 입니다.

10, 대물 렌즈: 대물 렌즈는 광학 오류를 보정하고 회로 다이어그램을 균일하게 축소하는 데 사용됩니다.

1 1. 실리콘 웨이퍼: 실리콘 결정체로 만든 웨이퍼. 실리콘의 크기는 여러 가지가 있는데, 크기가 클수록 완제품률이 높아진다. 문제는 실리콘이 둥글기 때문에 실리콘에 틈새를 썰어 실리콘의 좌표계를 확인해야 한다는 것이다. (알버트 아인슈타인, Northern Exposure (미국 TV 드라마), 도전명언) 홈 모양에 따라 평평한 홈과 홈 두 가지로 나눌 수 있습니다.

12. 내부 폐쇄 프레임 및 충격 흡수 장치: 외부 환경에서 작업대를 분리하고, 수준을 유지하고, 외부 진동 간섭을 줄이고, 온도와 압력을 안정적으로 유지합니다.

바이두 백과-마스크 조준기