황색광 공정에서 황색광을 사용하는 이유는 무엇인가요?

리소그래피

(리소그래피)

포토마스크를 적용하는 기술입니다

(마스크)

메인 패턴을 먼저 감광성 물질에 전사하고, 포토마스크를 통해 감광성 ​​물질에 빛을 조사한 후, 용매에 담가서 빛에 노출된 감광성 물질의 일부를 용해시키거나 유지시키는 방식으로 포토레지스트 패턴이 형성된다. 이 방법은 포토마스크와 완전히 통합됩니다. 노광 공정의 환경은 일반 사진 암실의 적색광 대신 황색광을 사용하기 때문에 이 공정을 흔히 '황광'이라고 부르기도 합니다.